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AFM (原子力显微镜)

原子力显微镜通过检测待测样品表面和微小探针之间极微弱的原子间相互作用力,来研究物质的表面形貌、结构及性质。该仪器对样品表面粗糙度的分析有极高的分辨率,可达原子或接近原子级别。除此之外,原子力显微镜还可以在不同的模式下对材料进行各种定量分析。例如,在C-AFM模式下,原子力显微镜可以探测出纳安培乃至皮安培级别的微电流漏电以定位芯片的故障区域。借助纳米力学模块,原子力显微镜还可以在样品微小区域内进行纳米压痕测试以分析材料硬度。

优势 局限

- 善于分析样品表面形貌并可定量
- 空间分辨率高
- 可以探测出小至2皮安培的漏电
- 能做纳米压痕测试
- 非破坏性分析

- 扫描区域有限(一般是90微米X90微米)高度差为5微米
- 须针对不同表面形貌选用相应的探针




更多信息: http://en.wikipedia.org/wiki/Atomic_force_microscope