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EDX(能量色散X射线光谱仪)ASDF

不同元素的特征X射线在电子束撞击样品表面时会被激发出来。能量色散X射线光谱仪通过测量特征X射线的能量和强度来鉴别样品中的元素组成并进行定量分析。该仪器通常与扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)结合使用,能对微米及纳米级别的区域进行元素分析。

优势 局限

- 分析快速
- 廉价易得
- 非破坏性分析

- 采样深度大
- 无化学态信息
- 对轻元素灵敏度低
- 样品须满足超高真空条件
- 半定量分析




更多信息: http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy