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EMMI(微光显微镜)

微光显微镜通过测量样品加偏压时所释放出来的光子来定位故障点。该仪器可以非常灵敏的测出微量光子,并且通过和背景图片重叠的方法来确定被测样品漏电的具体位置。微光显微镜已经成为失效分析定位里最为常见的分析手段。

优势 局限

- 使用相对简单
- 可以检测pn结的漏电

- 光子可能会被金属层挡住而无法显示
- 无法测量金属层短路
- 微光漏电光斑较大