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SEM(扫描电子显微镜)

SEM扫描电子显微镜目前已经广泛应用于分析样品表面形貌,且先进的FE-SEM(场发射扫描电镜)可轻易达到30万倍的放大倍数。

SEM的高能聚焦电子束扫描样品表面时,被激发的区域会产生二次电子。这些二次电子被收集起来转化为电信号,最终以图像的形式呈现出样品表面形貌。

配备了EDX的SEM还可以进行元素成份分析,适用于确定材料组成成份、污染物鉴定以及分析样品表面元素的相对浓度。双束聚焦离子束系统融合了FIB和SEM,在进行高精度切割的同时又可以进行SEM成像,是一种非常强大的分析工具。

优势 局限

- 优良的空间分辨率
- 可以与FIB和EDX整合在同一个系统中
- 易于操作且分析快速

- 样品需要适合放入高真空中
- 导电性弱的样品容易在样品表面产生荷电效应



铜纳米孪晶分析