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TEM(透射电子显微镜)

  • TEM是一种用于研究原子级微观结构的高分辨率分析技术
  • 制备TEM的样品时,样品厚度需要足够薄,使得电子束能穿透样品到达探测器
  • 配备了EDX或者EELS的TEM可以进行元素成份定量分析
  • TEM也是分析晶体及非晶体结构的强大分析手段

优势 局限

- 高达纳米级的空间分辨率
- 可获得样品形貌信息
- 可进行EDX元素定量分析

- 多数样品需要经过特殊的样品制备过程
- 整个制样到分析过程较费时



栅极氧化物高分辨率图像


晶体管横截面结构


铜线大马士革工艺


更多信息: http://en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy