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OBIRCH/TIVA(激光故障定位法)

激光故障定位法是先进制程里最有效的定位方法。由于高度聚焦的激光引起的芯片局部温度升高,会造成电阻的改变并引发外加电压或电流的变化。因此激光扫描显微镜就是利用该原理来确定短路和开路的故障点。激光扫描显微镜配有两种波长的激光,其中1340nm激光多用于检测芯片,而1064nm激光多用于检测III-V族器件。

优势 局限

- 激光探针光斑相对较小
- 可以检测到pn结失效和金属层短路
- 可用于分析芯片的正面和背面

- 激光探针可能被金属层阻挡