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AES(俄歇电子能谱仪)

俄歇电子能谱仪利用荷能电子束激发样品表面原子产生的俄歇电子,来对样品表面元素进行鉴别与定量分析。同时,在检测原子序数较小的元素时,该仪器具有高灵敏度,且有极佳的空间分辨率,常用于样品表面的微区分析。借助于离子束的剥蚀,俄歇电子能谱仪还能实现量化的深度剖析,并广泛应用于薄膜各层及界面的分析。

优势 局限

- 基体效应小,易于定量
- 成像分辨率高,~10nm

- 化学态信息有限
- 分析绝缘体较困难
- 无法检测H及He
- 样品须满足超高真空条件