TXRF（全反射X射线荧光谱仪）
低角度入射的X射线可以在样品表面产生全反射，并激发样品表面的元素形成特征X荧光谱线。全反射X射线荧光谱仪就是利用这种原理对被检测样品进行元素定量分析。该仪器常用于检测晶片表面的金属污染。
| 优势 | 局限 |
- 定量分析 |
- 无法检测原子序数小于Si的元素 |
