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XPS(X射线光电子能谱仪)

X射线光电子能谱仪利用X射线激发材料表面以下1纳米到10纳米范围内所逸出光电子的结合能及数量,从而得到X射线光电子能谱来测定样品中的元素构成及元素化学态和电子态。借助于离子束的剥蚀,X射线光电子能谱还能实现深度剖析,并广泛应用于薄膜各层及界面分析。

优势 局限

- 化学位移信息丰富
- 基体效应小,易于定量
- 角度分辨XPS可以实现无损深度分析
- 适用于绝缘样品

- 空间分辨率较差
- 无法检测H及He
- 样品须满足超高真空条件


更多信息: http://en.wikipedia.org/wiki/X-ray_photoelectron_spectroscopy