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FIB 双束聚焦离子束

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FIB 双束聚焦离子束

  • 分类:测试服务
  • 发布时间:2022-05-18 15:18:55
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概要:
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  一、项目介绍:

 

  FIB主要通过创新的elstar电子枪与高电流UC +技术相结合,实现极高分辨率成像 最高的材料与卓越的Phoenix离子枪形成对比,即使在最具挑战性的样品上,也能实现最快,最简单,最精确的高质量样品制备和3D表征。胜科纳米已投入使用全国首台商业化服务Helios 5 UX FIB。Helios G5 UX是业界领先的第四代Helios DualBeam?系列的一部分。具有以下主要特点:

 

  最快,最简单的HR-TEM和APT样品制备

  极高分辨率成像,具有最精确的对比度

  访问最高分辨率,多尺度和多模态地下和3D信息

  快速,准确,精确刻蚀和沉积复杂结构,临界尺寸小于10 nm

 

  二、设备技术参数

 

 

 

1

 

           E-Beam电子束分辨率

2kV时0.6nm

  1kV时为0.7nm

   0.5kV时1.0nm

               加速电压350V-30keV

                     着陆电压范围20eV-30keV

                          电子束电流范围0.8Pa-100nA

              I-Beam离子束分辨率

   30kV下4.0nm

    30kV下2.5nm

        电压500V-30KV

          束流0.1pA-65nA

 

 

 

 

  三、应用领域

 

  先进制程7nm TEM薄片制备:对于最新制程的FinFET工艺分析能力、平面TEM+截面TEM分析能力;

  定点截面3D切片分析:纳米级别定位分析能力、3维重构;

  集成电路(IC)线路修改:高阶制程芯片线路修改、测试Pad;

  复杂的纳米级图形制作:离子束直接刻蚀、电子束直接沉积;

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