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EMMI微光显微镜

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EMMI微光显微镜

  • 分类：测试服务
  • 发布时间：2022-05-18 15:46:19
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概要:
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　　1、项目定义：

 

　　EMMI微光显微镜又称PEM、InGaAs或CCD，是通过观察芯片漏电引起微弱的发射，确定漏电位置，帮助进行故障分析，是多层金属线芯片、LOC结构、倒装芯片和CSP等，集成电路芯片正面、背面分析必不可少的技术。

 

　　2、应用优势：

 

　　胜科纳米正面、背面EMMI集成一个红外焦距显微镜，实现了1024*1024像素的高分辨率InGaAs探头，穿透1mm芯片背面成像，IROM背景叠加定位，可以在红外波长区域以高度灵敏检测到非常微弱的发射，正面背面都可以定位，板子上的芯片开封后可以直接做定位，帮助客户检测IV曲线漏电漂移。

 

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