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Nano Probe

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Nano Probe

  • 分类:测试服务
  • 发布时间:2022-05-18 16:10:31
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概要:
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  1、项目定义:


  NanoProbing是半导体参数分析领域最新的分析方法。通过在SEM设备里使用并控制纳米尺寸探针,提取单个晶体管的电性参数。集成EBAC/EBIC/EBIRCH等多功能失效分析能力
  适用于新产品开发和失效分析,用于提高良率,质量和可靠性问题、客诉。
  胜科纳米实验室的Nano Probe探针是中国国内第三方首台设备,SEM电压可低至200V,比Hitachi的500V电压减少晶体管损伤。


  2、应用领域:


  8根针配置(测量IV CV曲线测量)
  SRAM Bit Cell(SRAM电性测量)
  BEOL Metal/Poly (金属/多晶硅电阻测量)
  EBAC/VC/EBIRCH(芯片线路开路/短路定位)
  EBIC (晶体管pn节成像/漏电定位)
  High/Low Temp (高低温环境测试)


  3、应用优势:


  200V电子束,不同尺寸的8探针,IV&CV曲线,最小电流10pA,配置EBAC/EBIC/EBIRCH。低电压可减少SEM电子束对晶体管的损伤,扎针金属线/Contact/Poly,满足客户实现7nm单个晶体管测量、金属线开路、芯片电容漏电定位、晶体管截面扎针、电容截面电极扎针等需求。

 

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  4、应用案例:

 

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