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SEM上机观察

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SEM上机观察

  • 分类:测试服务
  • 发布时间:2022-05-18 16:17:52
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概要:
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  一、项目介绍


  胜科纳米SEM项目可分为中阶与高阶上机观察,下面我们将分别介绍:


  1、中阶SEM:


  (1)项目介绍:

        日立SU5000常规扫描电镜,通过扫描样品并收集二次电子,创建了显示表面的形貌图像。非导电样品也可以使用日立SU5000,通过调节SEM腔体的真空度,在样品的表面附件引入了带正电的分子。这些分子与充电电子相互作用并中和它们,从而消除这种充电效应。然而在真空室中引入的空气分子与初级电子相互作用,降低了图像的质量。


  (2)应用优势:

  日立SU5000具有肖特基热场分辨率,3.0nm@1KV,放大倍率10x~80kx,可变动真空腔300pa,样品台长宽高100*50*65mm,SE+BSE多探头同时使用,调整真空无须喷金,研磨LonMill制备可直接SEM,可做样品成像拍照,不能镀金的样品可直接SEM。

 

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  2、高阶SEM:


  (1)项目介绍:

         日立SU8230是一款具有超高分辨率的冷场场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),通过扫描样品并使用特殊检测器手机被发射的二次电子,创建了显示表面的形貌图像。


  (2)应用优势:

  相对于以往的型号,SU8230的探针电流有了大幅提高,电流稳定性得到了极大增强,其稳定的束流可满足长时间下的分析需求,同时极低的着陆电压最大程度的避免了电子束对样品表面的损伤,实现连续长时间高分辨和观察分析能力。冷场减少电子束积碳污染,比TEM有更多表面形貌信息。适合观察单个晶体管,FA分析标配。

 

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