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上机观察SEM

分类：测试服务
发布时间：2022-05-18 16:17:52
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概要:

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　一、项目介绍

胜科纳米SEM项目可分为中阶与高阶上机观察，下面我们将分别介绍：

　　1、中阶SEM：

　　（1）项目介绍：

日立SU5000常规扫描电镜，通过扫描样品并收集二次电子，创建了显示表面的形貌图像。非导电样品也可以使用日立SU5000，通过调节SEM腔体的真空度，在样品的表面引入了带正电的分子。这些分子与充电电子相互作用并中和它们，从而消除这种充电效应。然而在真空室中引入的空气分子与初级电子相互作用，降低了图像的质量。

　　（2）应用优势：

　　日立SU5000具有肖特基热场分辨率，3.0nm@1KV，放大倍率10x~80kx，可变动真空腔300pa，样品台长宽高100*50*65mm，SE+BSE多探头同时使用，调整真空无须喷金，研磨 ionMill 制备可直接SEM，可做样品成像拍照，不能镀金的样品可直接SEM。

　　2、高阶SEM：

　　（1）项目介绍：

日立SU8230是一款具有超高分辨率的冷场场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)，通过扫描样品并使用特殊检测器被发射的二次电子，创建了显示表面的形貌图像。

　　（2）应用优势：

　　相对于以往的型号，分辨率可以达到0.6nm，SU8230的探针电流有了大幅提高，电流稳定性得到了极大增强，其稳定的束流可满足长时间下的分析需求，同时极低的着陆电压最大程度的避免了电子束对样品表面的损伤，实现连续长时间高分辨和观察分析能力。冷场减少电子束积碳污染，比TEM有更多表面形貌信息。适合观察单个晶体管，FA分析标配。

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