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TEM透射电子显微镜

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TEM透射电子显微镜

  • 分类:测试服务
  • 发布时间:2022-05-18 16:21:13
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概要:
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  1、项目介绍:

 

  TEM透射电镜的分辨率比光学显微镜高得很多,电子束穿过超薄样品后投射在TEM成像探测器上。包括TEM(投影)和STEM(电子束扫描)两种成像模式,可分析物质的精细结构、原子排列、化学特性、晶体方向等。

 

  2、应用优势:

 

  200kV电子源,分辨率0.12nm,放大倍率150X-230MX,Dual-XEDX探头分辨率高,可实现高分辨STEM成像,EDX定量更准确。满足单个晶体管成像,薄膜厚度精确测量,OLED有机物成像&分布,设备多,实现每天30颗产能。

 

  3、其他服务:

 

  (1)针对硅基/玻璃基样品、FIB制备、In-situ制备、Ex-situ制备,可实现样品平面PV+截面XS,不同尺寸分析;满足单个晶体管制备,指定失效位置制备,任意位置制备、超薄<30nm样品制备。

  (2)针对三五族GaNGaAsInp样品、FIB制备、In-situ制备、Ex-situ制备,实现样品平面PV+截面XS,不同尺寸分析;满足指定失效位置制备,任意位置制备、超薄<30nm样品制备,超大>30nm样品制备。

 

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