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原力电子显微镜AFM

概要:

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　　1、项目介绍：

　　原子力显微镜通过检测待测样品表面和微小探针之间极微弱的原子间相互作用力，来研究物质的表面形貌、结构及性质。该仪器对样品表面粗糙度的分析有极高的分辨率，可达原子或接近原子级别。除此之外，原子力显微镜还可以在不同的模式下对材料进行各种定量分析。

　　2、应用优势：

　　最小至0.1nm 垂直分辨率，多种应用模块扩展，满足不同测试需求；真空吸附样品台，最大可测量12英寸硅片无需破坏性切割，轻敲模式测试，可适应柔性样品表面。

　　（1）表面形貌和表面粗糙度

　　AFM可以显示表面成像拓扑和表面粗糙度值。AFM可以显示表面成像拓扑和表面粗糙度值。粗糙度范围从几百纳米（nm）到几埃（Å ）石英表面超平滑，Ra = 0.16nm，AFM能够显示表面上的小特征。

　　（2）纳米压痕Nanoindentation

　　压痕是确定样品的机械性能，如硬度或模量的常用工具。借助于AFM系统上的金刚石探头，它可以纳入极小体积的样品，以获得有价值的数据。AFM还可以进行纳米划痕和磨损试验，以研究膜的粘附性和耐久性。

（3）导电原子力显微镜 C-AFM

导电探针以接触模式对样品表面进行扫描，当样品台被施加相应的正负偏压时，样品台，导电样品及探针之间将会形成电流，扫描可得与表面形貌相对应的导电图像。通过改变偏压大小，也可获得针对漏电点的电流—电压曲线。电流测试范围： 10pA - 1uA，偏压范围： -1V – 1V。

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