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AES俄歇电子能谱
- 分类:测试服务
- 发布时间:2022-05-18 16:51:31
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概要:
详情
1、项目介绍:
俄歇电子能谱仪利用荷能电子束激发样品表面原子产生的俄歇电子,来对样品表面元素进行鉴别与定量分析。同 时,在检测原子序数较小的元素时,该仪器具有高灵敏度,且有极佳的空间分辨率,常用于样品表面的微区分 析。借助于离子束的剥蚀,俄歇电子能谱仪还能实现量化的深度剖析,并广泛应用于薄膜各层及界面的分析。
2、应用优势:
(1)基体效应小,易于定量;
(2)成像分辨率高,~10nm
3、局限:
(1)化学态信息有限
(2)分析绝缘体较困难
(3)无法检测H及He
(4)样品须满足超高真空条件
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