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AES俄歇电子能谱

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AES俄歇电子能谱

  • 分类：测试服务
  • 发布时间：2022-05-18 16:51:31
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概要:
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　　1、项目介绍：

 

　　俄歇电子能谱仪利用荷能电子束激发样品表面原子产生的俄歇电子，来对样品表面元素进行鉴别与定量分析。同 时，在检测原子序数较小的元素时，该仪器具有高灵敏度，且有极佳的空间分辨率，常用于样品表面的微区分 析。借助于离子束的剥蚀，俄歇电子能谱仪还能实现量化的深度剖析，并广泛应用于薄膜各层及界面的分析。

 

　　2、应用优势：

 

（1）基体效应小，易于定量；

（2）成像分辨率高，~10nm

 

　　3、局限：

 

　　（1）化学态信息有限

　　（2）分析绝缘体较困难

　　（3）无法检测H及He

　　（4）样品须满足超高真空条件

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