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AES俄歇电子能谱

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AES俄歇电子能谱

  • 分类:测试服务
  • 发布时间:2022-05-18 16:51:31
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概要:
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  1、项目介绍:

 

  俄歇电子能谱仪利用荷能电子束激发样品表面原子产生的俄歇电子,来对样品表面元素进行鉴别与定量分析。同 时,在检测原子序数较小的元素时,该仪器具有高灵敏度,且有极佳的空间分辨率,常用于样品表面的微区分 析。借助于离子束的剥蚀,俄歇电子能谱仪还能实现量化的深度剖析,并广泛应用于薄膜各层及界面的分析。

 

  2、应用优势:

 

(1)基体效应小,易于定量;

(2)成像分辨率高,~10nm

 

  3、局限:

 

  (1)化学态信息有限

  (2)分析绝缘体较困难

  (3)无法检测H及He

  (4)样品须满足超高真空条件

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