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物理结构分析

物理结构分析

  • 分类：解决方案
  • 发布时间：2022-05-18 17:58:56
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概要:
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　　半导体芯片虽然个头很小，但是内部结构非常复杂，尤其是其最核心的微型单元成千上万个晶体管。

Analysis Technique

分析方法

Lateral Resolution

　　平面分辨率

STEM 扫描透射电镜

0.19nm　

　TEM 透射电镜

0.24nm　

　SEM SE 扫描电镜 二次电子

0.6nm　　

TEM-EDX 透镜能谱

1nm

SEM BSE 扫描电镜 背散射

1.8nm　　

FIB 聚焦离子束

4nm

Auger 俄歇电子

8nm　

激光显微

>250nm　

　Optical Microscopy 光学显微

 >300nm　　

SEM-EDX 扫描电镜 能谱

>300nm　　

3D Nano-CT 高分辨断层扫描

0.9um　

X-Ray X射线成像

1um　

　Stereo Microscopy 体式显微

 >1um

　

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