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物理结构分析
- 分类:解决方案
- 发布时间:2022-05-18 17:58:56
- 访问量:0
概要:
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详情
半导体芯片虽然个头很小,但是内部结构非常复杂,尤其是其最核心的微型单元成千上万个晶体管。
Analysis Technique 分析方法 |
Lateral Resolution 平面分辨率 |
STEM 扫描透射电镜 |
0.19nm |
TEM 透射电镜 |
0.24nm |
SEM SE 扫描电镜 二次电子 |
0.6nm |
TEM-EDX 透镜能谱 |
1nm |
SEM BSE 扫描电镜 背散射 |
1.8nm |
FIB 聚焦离子束 |
4nm |
Auger 俄歇电子 |
8nm |
激光显微 |
>250nm |
Optical Microscopy 光学显微 |
>300nm |
SEM-EDX 扫描电镜 能谱 |
>300nm |
3D Nano-CT 高分辨断层扫描 |
0.9um |
X-Ray X射线成像 |
1um |
Stereo Microscopy 体式显微 |
>1um |
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