物理结构分析
- 分类：解决方案
- 发布时间：2022-05-18 17:58:56
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概要:
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半导体芯片虽然个头很小，但是内部结构非常复杂，尤其是其最核心的微型单元成千上万个晶体管。
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Analysis Technique 分析方法 |
Lateral Resolution 平面分辨率 |
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STEM 扫描透射电镜 |
0.19nm |
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TEM 透射电镜 |
0.24nm |
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SEM SE 扫描电镜 二次电子 |
0.6nm |
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TEM-EDX 透镜能谱 |
1nm |
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SEM BSE 扫描电镜 背散射 |
1.8nm |
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FIB 聚焦离子束 |
4nm |
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Auger 俄歇电子 |
8nm |
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激光显微 |
>250nm |
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Optical Microscopy 光学显微 |
>300nm |
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SEM-EDX 扫描电镜 能谱 |
>300nm |
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3D Nano-CT 高分辨断层扫描 |
0.9um |
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X-Ray X射线成像 |
1um |
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Stereo Microscopy 体式显微 |
>1um |
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