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胜科纳米科研成果被国际科学仪器巨头选为应用范文
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胜科纳米科研成果被国际科学仪器巨头选为应用范文

  • 分类:公司新闻
  • 作者:胜科纳米
  • 来源:
  • 发布时间:2023-10-08
  • 访问量:0

【概要描述】2024年,胜科纳米苏州总部大楼将正式启用。CAMECA总部专家及高层将于近期访问胜科纳米,双方将进一步洽谈未来合作计划,推动双方合作向更深层次领域迈进,在半导体领域携手共同发展。

胜科纳米科研成果被国际科学仪器巨头选为应用范文

【概要描述】2024年,胜科纳米苏州总部大楼将正式启用。CAMECA总部专家及高层将于近期访问胜科纳米,双方将进一步洽谈未来合作计划,推动双方合作向更深层次领域迈进,在半导体领域携手共同发展。

  • 分类:公司新闻
  • 作者:胜科纳米
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  • 发布时间:2023-10-08
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胜科纳米在第23届电子封装国际会议(ICEPT 2022)上发表题为“氮化硅/氧化硅多层薄膜中掺杂硼离子的动态二次离子质谱定量分析研究”的学术论文。经胜科纳米授权,该科研成果被国际科学仪器巨头CAMECA公司选为应用范文,并摘录相关内容到其最新技术应用报告中。

 

CAMECA APPLICATION NOTE #SIMS-013

二次离子质谱(SIMS)技术是一种检测小范围固体表面化学成分的表面分析技术。其原理是在高真空条件下,利用离子源发射的一次离子束将二次离子溅射到材料表面,通过质谱分析获得二次离子的组成信息。一次离子源通常具有数百至数万电子伏特的能量,不仅可以溅射原子,还可以溅射原子基团、官能团、分子等。因此,SIMS技术既可以分析无机结构,也可以分析有机结构。目前已广泛应用于半导体微电子、化学、材料、地质、生物医药等行业。

与其他表面分析技术相比,SIMS技术的主要优点之一是可以检测从氢到铀的所有元素及其同位素,某些元素的检测下限可以达到ppm~ppb级。目前,SIMS仪器的深度分辨率可达1 nm,横向分辨率可达100 nm。利用SIMS可以实现表面微区分析、微区成像和三维空间分析。SIMS技术已成为半导体元素掺杂与扩散、表面有机污染、薄膜材料界面分析等领域不可替代的手段。

CAMECA

CAMECA公司成立于1929年,总部临近法国巴黎。一直凭借其精密机械、光学和电子器件而享誉盛名。自20世纪50年代推出电子探针显微分析仪(EPMA)和20世纪60年代推出二次离子质谱仪(SIMS)以来,CAMECA一直是这些技术领域无可争议的全球领导者。同时在配套技术领域也实现了众多突破性创新,如低能电子激发X射线发射光谱仪(LEXES)和原子探针断层分析术(APT)。CAMECA不断为国际一流科研机构提供大型材料分析仪器,并为半导体行业的精准测量需求提供解决方案。2007年,CAMECA被美国科学仪器巨头AMETEK收购,成为这家全球电子和机电产品领先供应商的一部,隶属AMETEK材料分析部。

作为半导体全产业链中的芯片“全科医院”,胜科纳米在二次离子质谱(SIMS)技术发展和应用领域也达到了世界领先水平。2010年前后,胜科纳米新加坡实验室装备了当时亚洲首台CAMECA 7F-AUTO D-SIMS设备和IONTOF-5 TOF-SIMS设备,并拥有多位国际顶级的SIMS分析专家,也是世界上拥有晶圆级标样的实验室之一。多年来,胜科纳米在国际著名期刊和学术会议上独立发表数篇SIMS领域的学术论文,多项原创技术都受到学术界和产业界广泛关注。这次,CAMECA主动发出邀约,引用胜科纳米原创技术发布应用范文,是胜科纳米国际化合作的又一次经典案例,也是国际科学仪器设备巨头对胜科纳米独立研发能力的再次高度认可。

2024年,胜科纳米苏州总部大楼将正式启用。CAMECA总部专家及高层将于近期访问胜科纳米,双方将进一步洽谈未来合作计划,推动双方合作向更深层次领域迈进,在半导体领域携手共同发展。

 

作为半导体全产业链中的芯片“全科医院”,胜科纳米在二次离子质谱(SIMS)技术发展和应用领域也达到了世界领先水平。2010年前后,胜科纳米新加坡实验室装备了当时亚洲首台CAMECA 7F-AUTO D-SIMS设备和IONTOF-5 TOF-SIMS设备,并拥有多位国际顶级的SIMS分析专家,也是世界上拥有晶圆级标样的实验室之一。多年来,胜科纳米在国际著名期刊和学术会议上独立发表数篇SIMS领域的学术论文,多项原创技术都受到学术界和产业界广泛关注。这次,CAMECA主动发出邀约,引用胜科纳米原创技术发布应用范文,是胜科纳米国际化合作的又一次经典案例,也是国际科学仪器设备巨头对胜科纳米独立研发能力的再次高度认可。

 

2024年,胜科纳米苏州总部大楼将正式启用。CAMECA总部专家及高层将于近期访问胜科纳米,双方将进一步洽谈未来合作计划,推动双方合作向更深层次领域迈进,在半导体领域携手共同发展

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