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胜科纳米APT分析解决方案APT Analysis Solution
当半导体器件向纳米级甚至原子级精度突破的今天，原子级别的成分与结构信息已成为理解材料行为、定位失效根源、优化器件性能的关键，一场决定分析成败的“针尖上的较量”，正在微观世界悄然展开。
胜科纳米凭借20余年的FIB（聚焦离子束）技术沉淀，将这场“针尖艺术”淬炼到极致，为半导体材料表征与失效分析打开了新大门。
01 何为APT？
原子探针断层扫描（Atom Probe Tomography，简称APT）是一种在原子尺度上对材料进行三维成分分析和空间成像的先进表征技术。该技术通过结合场蒸发原理与时间飞行质谱仪，实现对样品中原子逐个剥离、识别与定位，获得纳米至原子级分辨率的元素三维分布图，尤其适用于界面、缺陷、掺杂分布等精细结构的定量分析。
其不可替代的价值，正体现在诸多前沿领域的深度分析中，如半导体与微电子、材料科学研究、薄膜与涂层技术、新能源材料等等。
02 胜科纳米：APT分析全流程解决方案
一次成功的APT分析，依赖于样品制备的质量与精准度。胜科纳米提供一套贯穿“定位、快速访问、验证、精密成型”的系统化分析解决方案。
标准系统化流程，确保“看得见、拿得准”
图1 前置处理
胜科纳米的FIB全方位能力生态
图2 FIB全方位能力生态
胜科纳米对APT 样品制备的极致追求
在APT的世界里，针尖的几何形貌决定数据的存废与优劣。一个理想的针尖需同时满足：
-
可控的针尖半径
-
对称的圆锥形貌
-
光滑洁净的侧壁表面
-
可控的锥角
而非理想的“钝”针尖则会带来一系列致命问题：
①钝化的针尖会导致电场增强，从而引起原子非可控蒸发；
②在高电场应力、大离子流及离子背向散射作用下，钝化针尖易导致样品断裂。
图3 来源：加拿大电子显微镜中心（CCEM）
为攻克这些难题，胜科纳米依托于标准化的FIB作业程序实现精准定位制样，并采用先进的“窄轴设计”工艺，以保障分析成功率。
优势：使样品保持细薄，显著提升三维重构精度与深度分析能力。
挑战与应对：该设计在激光模式下可能限制热传导。我们的工艺专家通过深度理解材料特性并优化激光参数，为每种材料寻找性能最优的平衡点，攻克应用瓶颈。
图4
以原子为尺度，铸就分析未来。胜科纳米始终秉持技术创新的初心，在精益求精的探索中，将每一份深厚的技术积淀，转化为客户可信赖的分析保障。我们致力于成为您身边最专业、最全面的 “芯片全科医院” 。
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