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嘉宾介绍 | 钮应喜
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嘉宾介绍 | 钮应喜

  • 分类:胜科新闻
  • 作者:胜科纳米
  • 来源:
  • 发布时间:2023-02-13
  • 访问量:0

【概要描述】“第五届纳博会分析测试应用论坛”以国际领先甚至独一无二的分析仪器为基础,依托科 研人员独创性的分析方法与对仪器、产品、材料及工艺的深刻理解,为工业界解决实际生产过程中迫在眉睫或悬而 未决的问题,进行技术和案例的分享与研讨。

嘉宾介绍 | 钮应喜

【概要描述】“第五届纳博会分析测试应用论坛”以国际领先甚至独一无二的分析仪器为基础,依托科 研人员独创性的分析方法与对仪器、产品、材料及工艺的深刻理解,为工业界解决实际生产过程中迫在眉睫或悬而 未决的问题,进行技术和案例的分享与研讨。

  • 分类:胜科新闻
  • 作者:胜科纳米
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  • 发布时间:2023-02-13
  • 访问量:0
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半导体和新材料方面的检测处于检测分析行业金字塔的最顶端。针对国内半导体与新材料分析检测领域的现状与需求,胜科纳米(苏州)股份有限公司联合中国半导体行业协会MEMS分会、苏州纳米科技发展有限公司,于2018年第九届纳博会开始,同期举办“第一届纳博会分析测试应用研讨会”,截止目前已成功举办四届。“ 纳博会分析测试应用研讨会”得到了ThermoFisher、Bruker、牛津仪器、Leica、日立、Zeiss、Tescan、PHI、EDAX、 YXLON、Picosun等公司的大力支持,每年吸引了500余名纳米新材料与半导体领域的专业人士参会,现场反响热烈。现组委会召集举办“第五届纳博会分析测试应用论坛”,论坛以国际领先甚至独一无二的分析仪器为基础,依托科研人员独创性的分析方法与对仪器、产品、材料及工艺的深刻理解,为工业界解决实际生产过程中迫在眉睫或悬而 未决的问题,进行技术和案例的分享与研讨。

嘉宾简介:

 

西安电子科技大学博士,中科院半导体博士后,教授级高级工程师,第六届CASA第三代半导体卓越创新青年;安徽“第三代半导体材料与器件”产业创新团队带头人;安徽省技术领军人才;芜湖市战略新兴产业优秀人才;国际IEC及SEMI化合物标准会委员;全国半导体器件、全国半导体材料标准委员会委员。从事碳化硅材料和器件研制和产业化;承担多项国家级、省级科研重大项目;申请国家专利100余项;编制多项国际、国家标准、行业标准以及团体标准。发表论文40余篇。

 

演讲题目: 碳化硅缺陷表征以及其对器件性能的影响

 

演讲摘要:当前碳化硅材料中还存在多种数量的缺陷(包括基矢面位错、螺位错、刃位错、层错、三角形缺陷、滴落物缺陷等)以及氧化层中的缺陷,造成碳化硅器件成品率低下和性能不稳定,甚至影响长期可靠性。在研究过程中,如何准确的表征缺陷,对缺陷控制工程来说至关重要。本报告主要介绍碳化硅中的主要缺陷和相关缺陷表征技术,并介绍缺陷对器件性能、可靠性的影响。

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