嘉宾介绍 | 罗锋

分类：胜科新闻
作者：胜科纳米
来源：
发布时间：2023-02-13
访问量：0

【概要描述】“第五届纳博会分析测试应用论坛”以国际领先甚至独一无二的分析仪器为基础，依托科研人员独创性的分析方法与对仪器、产品、材料及工艺的深刻理解，为工业界解决实际生产过程中迫在眉睫或悬而未决的问题，进行技术和案例的分享与研讨。

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嘉宾介绍 | 罗锋

分类：胜科新闻
作者：胜科纳米
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发布时间：2023-02-13
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半导体和新材料方面的检测处于检测分析行业金字塔的最顶端。针对国内半导体与新材料分析检测领域的现状与需求，胜科纳米（苏州）股份有限公司联合中国半导体行业协会MEMS分会、苏州纳米科技发展有限公司，于2018年第九届纳博会开始，同期举办“第一届纳博会分析测试应用研讨会”,截止目前已成功举办四届。“ 纳博会分析测试应用研讨会”得到了ThermoFisher、Bruker、牛津仪器、Leica、日立、Zeiss、Tescan、PHI、EDAX、 YXLON、Picosun等公司的大力支持，每年吸引了500余名纳米新材料与半导体领域的专业人士参会，现场反响热烈。

现组委会召集举办“第五届纳博会分析测试应用论坛”，论坛以国际领先甚至独一无二的分析仪器为基础，依托科研人员独创性的分析方法与对仪器、产品、材料及工艺的深刻理解，为工业界解决实际生产过程中迫在眉睫或悬而未决的问题，进行技术和案例的分享与研讨。

嘉宾简介：

罗锋，南开大学材料科学与工程学院/电子信息与光学工程学院讲席教授，西安交通大学兼职讲座教授(2018-2020)。1995 年至 2004 年就读于北京大学化学与分子工程学院，获学士和博士学位。2004年至 2009年在德国和瑞士从事博后工作，2009年至2010年在北京大学工学院担任PI特聘研究员。2010年至2020年就职于西班牙高等研究院纳米研究所，历任副研究员、研究员、终身制资深研究教授，2020 年至今就职于南开大学，先后入选欧盟玛丽居里学者、西班牙杰出青年基金、西班牙 I3 杰出教授、第十五批国家重大人才项目等，目前担任深圳综合粒子研究院科创委委员，深圳产业光源集成电路板块顾问，上海光源用户委员会委员，兰州航空集成电路与新材料研究院理事。

演讲题目: 超精密制造与集成电路工艺与装备

演讲摘要：针对Sub-7nm以下先进工艺节点中涉及的新材料和新器件，以及相关的失效检测方法，重点围绕光刻，刻蚀，沉积等集成电路装备的现状和研发趋势和技术挑战，系统介绍团队在此领域的相关工作与布局。

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